「SF-1U/SF-2Uの使い方について」に関連するFAQ

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{{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページに操作説明動画を掲載しています。ご確認ください。⇒{{[SF設定・操作説明動画](https://players.brightcove.net/4684385811001/DrRnx6y2D_default/index.html?videoId=6308854972112)}}

CO2の測定は可能ですか？

水溶性ガスのCO2は、水に溶けやすいため、正確な測定ができません。対象ガスは、N2、Air、O2、H2、He、Air、CO、CH4、C3H8などです。

大気開放したくないガスを、配管の途中で測定することは可能ですか？

原理上、体積管の出口が大気開放であることを前提としています。出口が大気開放以外の場合、石鹸膜の上昇速度が変わり正確な流量計測ができません。

10L/min以上のガスを測りたいのですが、可能ですか？

測定流量は、最大10L/minです。10L/min～50L/minを測定する場合、分流器(SE-0069）をご使用ください。

ガス種H2,Heを測定する場合の注意点は？

HeやH2は大気より比重が軽いため、石鹸膜が本来の流量より早く上昇します。また、ガスの透過による影響もあります。H2(He)の測定前に体積管の体積値の3～5倍程度量のHe(H2)を流し、内部の大気を十分に排気、置換してください。置換後10分前後の放置であっても大気が再混入しますので、その場合は再度置換の必要になります。その後、湿らし作業実施直後に測定するようにお願いします。

PCからSFを操作したいが可能か？

専用ケーブル（SC-NSF-PCV）を用いてPCとお手持ちのSF-*Uをつなぎ、PCより制御/SFからの測定データをPCへ返信（ロギング）することは可能となります。ただし、測定原理上、連続したリアルタイムでの測定は不向きとなります。（バッチ式）通信コマンドを使用してPCより操作してください。専用ソフトはありません。

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