1. よくあるご質問
  2. 製品について
  3. 高精度精密膜流量計(SF-U)
  4. 精密膜流量計SF-1U/SF-2Uと体積管VP-1U/2U/3U/4U
  5. SF-1U/SF-2Uの仕様について
「SF-1U/SF-2Uの仕様について」に関連するFAQ
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  • Q

     【SF-1U/SF-2U】精密膜流量計SF-＊Uと体積管VP-＊Uの機能は何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】高精度精密膜流量計（SFシリーズ）は、体積管ユニット（VPシリーズ）に接続してガスの流量を測定します。測定流量によって4種類の体積管を使い分けてください。体積管ユニットは、石鹸膜ディテクタを搭載しており体積管内を石鹸膜が通過する時間を測定しています。その測定値を温度や大気圧等で自動補正演算し、ガスの流量を算出しているのが高精度精密膜流量計となります。※メンテンナンスの際には、SFシリーズとVPシリーズは個別製品の取り扱いとなります

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】SF-1U・2Uの違いは何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】SF-1UとSF-2Uの違いは大気圧センサーの有無になります。SF-1Uは、使用開始時に手動で大気圧設定の入力が必要です。SF-2Uは大気圧センサーを内蔵していますので、ご使用時に大気圧を入力する手間が省けます。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】検査成績書、校正証明書、トレサビリティ体系図の発行は可能ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】発行は可能です。ご入用の場合はお申し付けください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】PCで操作したいのだが、ソフトはありますか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】ソフトはありません。{{[取扱説明書](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/Resources/Manual_Downloads/SF_I030248700E.pdf)}}にコマンド表の記載していますので、お客様にてプログラムを作成ください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】動作原理を知りたい

    A

     【SF-1U/SF-2U】動作原理は以下の通りです。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】成膜液の指定はありますか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】成膜液は必ずSnoop®を使用してください。他のせっけん液や漏れ検査液を使用した場合は膜ができなくなるだけでなく、体積管が汚れたり内部のパッキンが劣化する場合があります。SF本体を購入するとSnoop®59mlが付属しています。(都度交換した場合は約３回分)また、Snoop®は開栓後１年以内程度のものをご使用ください。内部の水分が蒸発し、成分濃度が濃くなっている場合、石鹸膜が割れやすい場合があります。※ Snoop®は米国Swagelok社の商標登録です

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VP-1UとVP-2Uにゴムキャップがついているが、これの役割は？

    A

     【SF-1U/SF-2U】VP-1UとVP-2Uのみ膜割用ゴムキャップついています。石鹸膜がガス出口まで割れない場合は、圧損となるため、流量計測を安定且つ正確に行うため、″こより“を膜割用紙入口に差し込み、石鹸膜を割ってください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VPの継手に接続する配管は？

    A

     【SF-1U/SF-2U】軟質のビニールチューブをご用意ください。VPのプラスチックのパイプを覆うような形ではめ込んでください。(抜けが心配な方はクリップで止めてください)。出口は大気開放が基本となります。出口をどこかに出したいという場合、体積管内部に背圧を与えないように配管長は１ｍ程度でお願いします。
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