「SEC-Z500Xシリーズ」に関連するFAQ | よくあるご質問（FAQ）- HORIBA

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デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)
SEC-Z500Xシリーズ

「SEC-Z500Xシリーズ」に関連するFAQ

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【SEC-Z500Xシリーズ】Z500Xの背面の大きな銘板仕様と上面の銘板仕様が違うのはなぜですか？

【SEC-Z500Xシリーズ】Z500Xの背面の大きな銘板と側面の銘板は、MR.MG.番号で製作可能な最大のフルスケール流量(N2ガス)を表記しています。Z500Xの上面の小銘板は、お客様のご発注時のガスとフルスケール流量を記載しています。仕様確認は、上面の小銘板をご確認ください。

【SEC-Z500Xシリーズ】発注した仕様とZ500Xの銘板のガスとフルスケール流量が違うのはなぜですか？

【SEC-Z500Xシリーズ】SEC-Z502Xの上面のLEDの状態を教えて下さい。※SEC-Z500X：アナログ通信/デジタル通信(RS-485 F-Netプロトコル)仕様

【SEC-Z500Xシリーズ】LEDの状態です。「緑点灯」・・・アナログ通信時「緑点滅」・・・デジタル通信時「赤点灯/赤点滅」・・・アラーム：ゼロ点補正異常(工場出荷時設定)　※納入後お客様でアラーム情報の変更可

【SEC-Z500Xシリーズ】Z502/Z504/Z507などの下一桁の文字の違いは何ですか？

【SEC-Z500Xシリーズ】型式の下一桁目が通信仕様を表します。・SEC-Z501X：アナログ通信・SEC-Z502X：デジタル通信(RS-485 F-Netプロトコル)仕様・SEC-Z502MGX：アナログ通信/デジタル通信(RS-485 F-Netプロトコル)仕様・SEC-Z504MGX：DeviceNet™通信仕様・SEC-Z507MGX：EtherCAT®通信仕様

【SEC-Z500Xシリーズ】Z500XのモジューラージャックとPCのLANモジューラーを繋げば通信は可能ですか？

【SEC-Z500Xシリーズ】同じ形状のモジューラージャックを使用しておりますが、結線、通信方式が異なりますので接続はできません。USBから①シリアル変換機、②変換アダプタ、③LANケーブルでの接続になります。接続の詳細はこちらの動画をご覧ください。

【SEC-Z500Xシリーズ】SEC-Z500XのカタログでSEC-Z512KXのフルスケール流量が1/2SCCMと記載があります。これは0.5SCCMの意味でしょうか？

【SEC-Z500Xシリーズ】フルスケール流量は0.5SCCMではなく、1SCCMもしくは2SCCMになります。

【SEC-Z500Xシリーズ】腐食性のガスは流せますか？

【SEC-Z500Xシリーズ】腐食性ガスに対応しています。接ガス部内面研磨処理およびオールステンレス仕様です。詳しくは{{[コチラ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/sec-z500x-series-729/)}}を参照ください。

【SEC-Z500Xシリーズ】流量単位(SLM, SCCM, LM, CCM)を変更したい。

【SEC-Z500Xシリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCより変更できます。対象機種：SEC-Z500MGX(N)

【SEC-Z500Xシリーズ】フルスケール流量1(S)CCMを計測・制御できるマスフローはありますか？

【SEC-Z500Xシリーズ】微小流量対応モデル：SEC(F)-Z500KXが1(S)CCMもしくは2(S)CCM対応しています。詳しくはSEC-Z500Xカタログを参照ください。

【SEC-Z500Xシリーズ】ガス種を変更したい。

【SEC-Z500Xシリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCよりガス種を変更できます。対象モデル：SEC-Z500MGX