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「高精度精密膜流量計(SF-U)」に関連するFAQ
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  • Q

     【SF-1U/SF-2U】精密膜流量計SF-＊Uと体積管VP-＊Uの機能は何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】高精度精密膜流量計（SFシリーズ）は、体積管ユニット（VPシリーズ）に接続してガスの流量を測定します。測定流量によって4種類の体積管を使い分けてください。体積管ユニットは、石鹸膜ディテクタを搭載しており体積管内を石鹸膜が通過する時間を測定しています。その測定値を温度や大気圧等で自動補正演算し、ガスの流量を算出しているのが高精度精密膜流量計となります。※メンテンナンスの際には、SFシリーズとVPシリーズは個別製品の取り扱いとなります

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】CO2の測定は可能ですか？

    A

     水溶性ガスのCO2は、水に溶けやすいため、正確な測定ができません。対象ガスは、N2、Air、O2、H2、He、Air、CO、CH4、C3H8などです。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】10L/min以上のガスを測りたいのですが、可能ですか？

    A

     測定流量は、最大10L/minです。10L/min～50L/minを測定する場合、分流器(SE-0069）をご使用ください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】SF-1U/SF-2Uの操作方法を教えてください。

    A

     {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページに操作説明動画を掲載しています。ご確認ください。⇒{{[SF設定・操作説明動画](https://players.brightcove.net/4684385811001/DrRnx6y2D_default/index.html?videoId=6308854972112)}}

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】成膜液の指定はありますか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】成膜液は必ずSnoop®を使用してください。他のせっけん液や漏れ検査液を使用した場合は膜ができなくなるだけでなく、体積管が汚れたり内部のパッキンが劣化する場合があります。SF本体を購入するとSnoop®59mlが付属しています。(都度交換した場合は約３回分)また、Snoop®は開栓後１年以内程度のものをご使用ください。内部の水分が蒸発し、成分濃度が濃くなっている場合、石鹸膜が割れやすい場合があります。※ Snoop®は米国Swagelok社の商標登録です

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】大気開放したくないガスを、配管の途中で測定することは可能ですか？

    A

     原理上、体積管の出口が大気開放であることを前提としています。出口が大気開放以外の場合、石鹸膜の上昇速度が変わり正確な流量計測ができません。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VP-4Uを使用。膜が出来なくなった。原因は？

    A

     【SF-1U/SF-2U】原因の一つに、Snoop®のノズルの先が奥まで入り、成膜リングに接触すると位置がズレたり反転したりして膜ができない症状が起こり、修理が必要になりますコツ：Snoop®のチューブを4cm以上挿入しないこと。※ Snoop®は米国Swagelok社の商標登録です

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】ガス種H2,Heを測定する場合の注意点は？

    A

     HeやH2は大気より比重が軽いため、石鹸膜が本来の流量より早く上昇します。また、ガスの透過による影響もあります。H2(He)の測定前に体積管の体積値の3～5倍程度量のHe(H2)を流し、内部の大気を十分に排気、置換してください。置換後10分前後の放置であっても大気が再混入しますので、その場合は再度置換の必要になります。その後、湿らし作業実施直後に測定するようにお願いします。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VPの継手に接続する配管は？

    A

     【SF-1U/SF-2U】軟質のビニールチューブをご用意ください。VPのプラスチックのパイプを覆うような形ではめ込んでください。(抜けが心配な方はクリップで止めてください)。出口は大気開放が基本となります。出口をどこかに出したいという場合、体積管内部に背圧を与えないように配管長は１ｍ程度でお願いします。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】動作原理を知りたい

    A

     【SF-1U/SF-2U】動作原理は以下の通りです。
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