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「製品について」に関連するFAQ
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  • Q

     流量単位、CCM・LMとSCCM・SLMの違い

    A

     質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。・SLM、SCCM⇒０℃ 1013hPa・LM、CCM⇒25℃ 1013hPa校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。

  • Q

     コンバージョンファクタ(C.F値)とは

    A

     マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series 、SEC-8000Seriesとなります。各種ガスのC.F.値は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     コンバージョンファクターを教えて欲しい。

    A

     コンバージョンファクター(CF値)はHPに記載しておりません。マスフローに搭載されるセンサーによって、若干CF値が異なりますので、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せ下さい。＜確認事項＞・型式・銘板に記載の仕様ガス・流したいガス対象マスフロー：SEC-Eシリーズ、S48シリーズ、SEC-400シリーズ、SEC-8000シリーズ※SEC-Z500Xシリーズ、SEC-N100シリーズはCF値がございません。

  • Q

     ゼロ点調整方法が知りたい

    A

     調整可能範囲が機種によって異なりますが、お客様にてゼロ点調整は可能です。ゼロ点調整方法については説明動画{{[「動画DE解説」](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}をご用意しておりますのでご確認ください。

  • Q

     【VGシリーズ】ゼロ点調整をしたい

    A

     【VGシリーズ】取付後、ターボポンプなどで限りなく０(ゼロ)に近くまで引ききってからゼロ点調整してください。目安としては、フルスケールの0.005%未満まで真空に引いてからゼロ点調整してください。仮に中途半端な圧力でゼロ調整してしまうと、ゼロ点がズレます。ゼロ点調整範囲±5％をオーバーするとエラーが発生し修理が必要となります。

  • Q

     SECとSEFの違いは？

    A

     ・SECの「C」はControllerを意味しマスフローコントローラになります。流量計測と流量制御をします。・SEFの「Ｆ」はFlowmeterを意味しマスフローメータになります。流量を計測するのみとなります。流量制御は出来ません。

  • Q

     【QL-MS02】QL-SG02シリーズの専用ソフト QL-MS02 (Micropole Scanner TM2ソフトウェア) は、どうやって入手できますか？

    A

     【QL-MS02】QL-MS02ソフトウェアの取扱説明書(HP非公開)に記載のURLよりダウンロード可能です。QL-SG02シリーズ製品納入前にソフトをご希望の場合は、営業担当もしくは{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せ下さい。※本ソフトはQL-SG02の専用ソフトとなります。QL-SG02シリーズのみ使用できます。

  • Q

     SF用ACアダプタ PS-SF-100Cの後継品PS-SF-100Dの変更点は何ですか？互換性はありますか？

    A

     外観に変更がありますが、接続に変更は有りません。互換性はあります。

  • Q

     【DU-1000シリーズ(販売中止)】プログラム設定はどうすればいいですか？

    A

     【DU-1000シリーズ(販売中止)】接続する液体流量計の型式を確認の上、型式に見合ったプログラムNo.を設定してください。※LM05,LM10はモード変更の際注意点がございますので、取扱説明書を読んで操作してください。

  • Q

     流量単位(SLM, SCCM, LM, CCM)を変更したい。

    A

     マルチレンジ・マルチガス機能が付いたマスフローは{{[コンフィグソフト](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/fluid-control/mass-flow-control/product-characteristic-of-digital-mass-flow-controller/multi-gas-multi-range-solution/)}}で流量単位の変更が可能です。対象モデル：SEC-N100MGR/MGM, SEC-Z500MGX、SEC-Z700MGX, CRITERION上記以外のマスフローは、弊社に返却・仕様変更(改造)が必要です。詳しくは型式を確認の上、{{[お問い合わせ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}よりお問合せください。
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