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「製品について」に関連するFAQ
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  • Q

     流量単位、CCM・LMとSCCM・SLMの違い

    A

     質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。・SLM、SCCM⇒０℃ 1013hPa・LM、CCM⇒25℃ 1013hPa校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。

  • Q

     コンバージョンファクタ(C.F値)とは

    A

     マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series 、SEC-8000Seriesとなります。各種ガスのC.F.値は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     SECとSEFの違いは？

    A

     ・SECの「C」はControllerを意味しマスフローコントローラになります。流量計測と流量制御をします。・SEFの「Ｆ」はFlowmeterを意味しマスフローメータになります。流量を計測するのみとなります。流量制御は出来ません。

  • Q

     マスフローの継手の取り外し

    A

     継手は取り外さないでください。マスフローは継手が付いた状態で調整している為、お客様で継手を取り外しを行うと保証対象外となり、さらに弊社で点検・修理が受けられなくなる場合もあります。また、リークの原因や入口側の継手を緩めると精度に影響する懸念があります。配管から外す際には継手が緩まないように、必ずマスフロー側にも工具等を使用して下さい。

  • Q

     【OPGU】セルの寿命はどのくらいですか？

    A

     【OPGU】ご使用状況やご使用頻度、またはご使用の水の純度により変動します。電解セルの電圧チェックで、2.6V付近の場合（正常値2.1～2.6V）、交換時期が近づいてきています。{{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページの「日常メンテナンス方法」動画をご参考ください。⇒{{[日常メンテナンス方法](https://players.brightcove.net/4684385811001/DrRnx6y2D_default/index.html?videoId=6218135519001)}}

  • Q

     【SEC-Z500Xシリーズ】ガス種を変更したい。

    A

     【SEC-Z500Xシリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCよりガス種を変更できます。対象モデル：SEC-Z500MGX

  • Q

     SF用ACアダプタ PS-SF-100Cの後継品PS-SF-100Dの変更点は何ですか？互換性はありますか？

    A

     外観に変更がありますが、接続に変更は有りません。互換性はあります。

  • Q

     コンバージョンファクターを教えて欲しい。

    A

     コンバージョンファクター(CF値)はHPに記載しておりません。マスフローに搭載されるセンサーによって、若干CF値が異なりますので、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せ下さい。＜確認事項＞・型式・銘板に記載の仕様ガス・流したいガス対象マスフロー：SEC-Eシリーズ、S48シリーズ、SEC-400シリーズ、SEC-8000シリーズ※SEC-Z500Xシリーズ、SEC-N100シリーズはCF値がございません。

  • Q

     【SEC-N100シリーズ】N100の背面の大きな銘板仕様と上面の銘板仕様が違うのはなぜですか？

    A

     【SEC-N100シリーズ】N100の背面の大きな銘板と側面の銘板は、MR.MG.番号で製作可能な最大のフルスケール流量(N2ガス)を表記しています。N100の上面の小銘板は、お客様のご発注時のガスとフルスケール流量を記載しています。仕様確認は、上面の小銘板をご確認ください。

  • Q

     【OPGU】アラームが発生したが、どのように対処すればよいでしょうか？

    A

     【OPGU】アラームの種類を確認後、対処方法はこちらの{{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページの OPGU Series『トラブル・お困りごと』をご覧ください。
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