マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series 、SEC-8000Seriesとなります。各種ガスのC.F.値は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。