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「製品について」に関連するFAQ
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  • Q

     仕様選定の際の必要な情報

    A

     ガス種、流量、継手などの情報が必要となります。{{[仕様選定フォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/selection-form/)}}をご用意しております。必要情報をご入力後、送信お願いします。選定させて頂きますので是非ご活用ください。SEC/SEFシリーズ選定フォームは{{[コチラ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/selection-form/sec-sef-series/)}}に入力してください。

  • Q

     ゼロ点調整方法が知りたい

    A

     調整可能範囲が機種によって異なりますが、お客様にてゼロ点調整は可能です。ゼロ点調整方法については説明動画{{[「動画DE解説」](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}をご用意しておりますのでご確認ください。

  • Q

     マスフローコントローラの内部のバルブでガスを止めることは可能ですか？

    A

     マスフローコントローラ内蔵の制御バルブは、シャットオフ性はありません。完全にガスを止めたい場合は、前段もしくは後段、又は、前後段にストップバルブを設置してガスを止めてください。

  • Q

     マスフローコントローラを動かす際に何が必要ですか？

    A

     電源・設定器・表示部・ケーブルが必要です。制御ユニット{{[PE-D20](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/pe-d20-693/)}}は電源・設定器・表示部一体型になります。マスフローコントローラの基本的な制御が可能です。その他{{[アクセサリ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/accessories/)}}の組み合わせに関しては{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。

  • Q

     コンバージョンファクタ(C.F値)とは

    A

     マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series となります。各種ガスのC.F.値は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     流量単位、CCM・LMとSCCM・SLMの違い

    A

     質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。・SLM、SCCM⇒０℃ 1013hPa・LM、CCM⇒25℃ 1013hPa校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。

  • Q

     後継機種との互換性はありますか？

    A

     互換性はありません。コネクタ形状(丸型コネクタ⇒D-Sub9ピン型コネクタ）が異なります。バルブタイプによりご提案できる後継機種が異なります。後継機種の型式選定については、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     エラーコード「FFFF」と「-FFFF」はどのような場合に発生しますか？

    A

     以下の症状が考えられます。「FFFF」・・・流量の振り切れ ( 電圧出力8VDC以上)「-FFFF」・・・逆流、取付方向を逆に取付 (電圧出力-0.4VDC以下)

  • Q

     新品購入時に、検査成績書、校正証明書/トレーサビリティ体系図は発行できますか？

    A

     新品購入時には英文検査成績書が標準添付しています。校正証明書/トレサビリティ体系図は有償にて発行可能です。※英文のみご希望の場合は、製品ご発注時にお申し付けください。

  • Q

     海外への輸出は可能でしょうか？

    A

     電源ケーブルは輸出国先によって付属しない場合があります。詳細は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}お問合せください。付属しない場合は、お客様にて各国認証の電源ケーブルをご準備ください。
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