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「精密膜流量計SF-1U/SF-2Uと体積管VP-1U/2U/3U/4U」に関連するFAQ
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  • Q

     VPの継手に接続する配管は？

    A

     軟質のビニールチューブをご用意ください。VPのプラスチックのパイプを覆うような形ではめ込んでください。(抜けが心配な方はクリップで止めてください)。出口は大気開放が基本となります。出口をどこかに出したいという場合、体積管内部に背圧を与えないように配管長は１ｍ程度でお願いします。

  • Q

     主なアラームの種類を教えてください。

    A

     SFのアラームの概略は以下になります、詳細は{{[取扱説明書](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/Resources/Manual_Downloads/SF_I030248700E.pdf)}}をご確認ください・A1アラーム：startボタンを押した後、120秒（変更可）以内に石鹸膜の通過をスタートディテクターが検知しなかった場合に発するアラームです。・A2アラーム：石鹸膜がスタートディテクター通過後、120秒（変更可）以内に石鹸膜の通過をストップディテクターが検知しなかった場合に発するアラームです。・A3アラーム：ディテクター光量に関するアラームです。・A4アラーム：電源電圧が低下した場合に発するアラームです。※その他のアラーム、エラーについては取扱説明書をご確認ください

  • Q

     SF-1U/SF-2Uの操作方法を教えてください。

    A

     {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページに操作説明動画を掲載しています。ご確認ください。⇒{{[SF設定・操作説明動画](https://players.brightcove.net/4684385811001/DrRnx6y2D_default/index.html?videoId=6308854972112)}}

  • Q

     VP-4Uを使用。膜が出来なくなった。原因は？

    A

     原因の一つに、Snoop®のノズルの先が奥まで入り、成膜リングに接触すると位置がズレたり反転したりして膜ができない症状が起こり、修理が必要になりますコツ：Snoop®のチューブを4cm以上挿入しないこと。※ Snoop®は米国Swagelok社の商標登録です

  • Q

     連続測定時に泡が立つが、どうしたらいいですか？

    A

     連続測定する場合、石鹸液が泡立つことがあります。そのまま測定をした場合、石鹸膜が二重にできたり、膜の端が泡立つなどし、正常に計測できなくなる可能性があります。その場合、泡が収まるのを待つか、石鹸液の交換をしてください。

  • Q

     VP-4U測定前に湿らし作業を行うが、膜が途中で壊れてしまい測定できない。

    A

     測定前には必ず湿らし作業を行う必要があるが、VP-4Uはガラス管の表面積が大きいため、湿らし作業をしてもすぐに内部が乾燥してしまいます。膜が途中で割れ測定できない可能性も。。。コツ：測定範囲内の少ない流量でジワジワと湿らし作業を数回行い、充分にガラス管を湿らしてください。十分に湿らし後、間髪を入れず目標流量を測定してください。間をあけるとすぐに乾燥してしまいますの気を付けて下さい

  • Q

     PCで操作したいのだが、ソフトはありますか？

    A

     ソフトはありません。{{[取扱説明書](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/Resources/Manual_Downloads/SF_I030248700E.pdf)}}にコマンド表の記載していますので、お客様にてプログラムを作成ください。

  • Q

     CO2の測定は可能ですか？

    A

     水溶性ガスのCO2は、水に溶けやすいため、正確な測定ができません。対象ガスは、N2、Air、O2、H2、He、Air、CO、CH4、C3H8などです。

  • Q

     ガス種H2,Heを測定する場合の注意点は？

    A

     HeやH2は大気より比重が軽いため、石鹸膜が本来の流量より早く上昇します。また、ガスの透過による影響もあります。H2(He)の測定前に体積管の体積値の3～5倍程度量のHe(H2)を流し、内部の大気を十分に排気、置換してください。置換後10分前後の放置であっても大気が再混入しますので、その場合は再度置換の必要になります。その後、湿らし作業実施直後に測定するようにお願いします。

  • Q

     大気開放したくないガスを、配管の途中で測定することは可能ですか？

    A

     原理上、体積管の出口が大気開放であることを前提としています。出口が大気開放以外の場合、石鹸膜の上昇速度が変わり正確な流量計測ができません。
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