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「精密膜流量計SF-1U/SF-2Uと体積管VP-1U/2U/3U/4U」に関連するFAQ
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  • Q

     【SF-1U/SF-2U】精密膜流量計SF-＊Uと体積管VP-＊Uの機能は何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】高精度精密膜流量計（SFシリーズ）は、体積管ユニット（VPシリーズ）に接続してガスの流量を測定します。測定流量によって4種類の体積管を使い分けてください。体積管ユニットは、石鹸膜ディテクタを搭載しており体積管内を石鹸膜が通過する時間を測定しています。その測定値を温度や大気圧等で自動補正演算し、ガスの流量を算出しているのが高精度精密膜流量計となります。※メンテンナンスの際には、SFシリーズとVPシリーズは個別製品の取り扱いとなります

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】連続測定時に泡が立つが、どうしたらいいですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】連続測定する場合、石鹸液が泡立つことがあります。そのまま測定をした場合、石鹸膜が二重にできたり、膜の端が泡立つなどし、正常に計測できなくなる可能性があります。その場合、泡が収まるのを待つか、石鹸液の交換をしてください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】SF-1U/SF-2Uの操作方法を教えてください。

    A

     {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページに操作説明動画を掲載しています。ご確認ください。⇒{{[SF設定・操作説明動画](https://players.brightcove.net/4684385811001/DrRnx6y2D_default/index.html?videoId=6308854972112)}}

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】ガス種H2,Heを測定する場合の注意点は？

    A

     HeやH2は大気より比重が軽いため、石鹸膜が本来の流量より早く上昇します。また、ガスの透過による影響もあります。H2(He)の測定前に体積管の体積値の3～5倍程度量のHe(H2)を流し、内部の大気を十分に排気、置換してください。置換後10分前後の放置であっても大気が再混入しますので、その場合は再度置換の必要になります。その後、湿らし作業実施直後に測定するようにお願いします。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】成膜液の指定はありますか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】成膜液は必ずSnoop®を使用してください。他のせっけん液や漏れ検査液を使用した場合は膜ができなくなるだけでなく、体積管が汚れたり内部のパッキンが劣化する場合があります。SF本体を購入するとSnoop®59mlが付属しています。(都度交換した場合は約３回分)また、Snoop®は開栓後１年以内程度のものをご使用ください。内部の水分が蒸発し、成分濃度が濃くなっている場合、石鹸膜が割れやすい場合があります。※ Snoop®は米国Swagelok社の商標登録です

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VP-1UとVP-2Uにゴムキャップがついているが、これの役割は？

    A

     【SF-1U/SF-2U】VP-1UとVP-2Uのみ膜割用ゴムキャップついています。石鹸膜がガス出口まで割れない場合は、圧損となるため、流量計測を安定且つ正確に行うため、″こより“を膜割用紙入口に差し込み、石鹸膜を割ってください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】検査成績書、校正証明書、トレサビリティ体系図の発行は可能ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】発行は可能です。ご入用の場合はお申し付けください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】動作原理を知りたい

    A

     【SF-1U/SF-2U】動作原理は以下の通りです。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】SF-1U・2Uの違いは何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】SF-1UとSF-2Uの違いは大気圧センサーの有無になります。SF-1Uは、使用開始時に手動で大気圧設定の入力が必要です。SF-2Uは大気圧センサーを内蔵していますので、ご使用時に大気圧を入力する手間が省けます。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VP-4U測定前に湿らし作業を行うが、膜が途中で壊れてしまい測定できない。

    A

     【SF-1U/SF-2U】測定前には必ず湿らし作業を行う必要があるが、VP-4Uはガラス管の表面積が大きいため、湿らし作業をしてもすぐに内部が乾燥してしまいます。膜が途中で割れ測定できない可能性も。。。コツ：測定範囲内の少ない流量でジワジワと湿らし作業を数回行い、充分にガラス管を湿らしてください。十分に湿らし後、間髪を入れず目標流量を測定してください。間をあけるとすぐに乾燥してしまいますの気を付けて下さい
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