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「精密膜流量計SF-1U/SF-2Uと体積管VP-1U/2U/3U/4U」に関連するFAQ
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  • Q

     【SF-1U/SF-2U】CO2の測定は可能ですか？

    A

     水溶性ガスのCO2は、水に溶けやすいため、正確な測定ができません。対象ガスは、N2、Air、O2、H2、He、Air、CO、CH4、C3H8などです。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】連続測定時に泡が立つが、どうしたらいいですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】連続測定する場合、石鹸液が泡立つことがあります。そのまま測定をした場合、石鹸膜が二重にできたり、膜の端が泡立つなどし、正常に計測できなくなる可能性があります。その場合、泡が収まるのを待つか、石鹸液の交換をしてください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】大気開放したくないガスを、配管の途中で測定することは可能ですか？

    A

     原理上、体積管の出口が大気開放であることを前提としています。出口が大気開放以外の場合、石鹸膜の上昇速度が変わり正確な流量計測ができません。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】SF-1U・2Uの違いは何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】SF-1UとSF-2Uの違いは大気圧センサーの有無になります。SF-1Uは、使用開始時に手動で大気圧設定の入力が必要です。SF-2Uは大気圧センサーを内蔵していますので、ご使用時に大気圧を入力する手間が省けます。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】10L/min以上のガスを測りたいのですが、可能ですか？

    A

     測定流量は、最大10L/minです。10L/min～50L/minを測定する場合、分流器(SE-0069）をご使用ください。

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】主なアラームの種類を教えてください。

    A

     【SF-1U/SF-2U】SFのアラームの概略は以下になります、詳細は{{[取扱説明書](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/Resources/Manual_Downloads/SF_I030248700E.pdf)}}をご確認ください・A1アラーム：startボタンを押した後、120秒（変更可）以内に石鹸膜の通過をスタートディテクターが検知しなかった場合に発するアラームです。・A2アラーム：石鹸膜がスタートディテクター通過後、120秒（変更可）以内に石鹸膜の通過をストップディテクターが検知しなかった場合に発するアラームです。・A3アラーム：ディテクター光量に関するアラームです。・A4アラーム：電源電圧が低下した場合に発するアラームです。※その他のアラーム、エラーについては取扱説明書をご確認ください

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VP-4U測定前に湿らし作業を行うが、膜が途中で壊れてしまい測定できない。

    A

     【SF-1U/SF-2U】測定前には必ず湿らし作業を行う必要があるが、VP-4Uはガラス管の表面積が大きいため、湿らし作業をしてもすぐに内部が乾燥してしまいます。膜が途中で割れ測定できない可能性も。。。コツ：測定範囲内の少ない流量でジワジワと湿らし作業を数回行い、充分にガラス管を湿らしてください。十分に湿らし後、間髪を入れず目標流量を測定してください。間をあけるとすぐに乾燥してしまいますの気を付けて下さい

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】VP-4Uを使用。膜が出来なくなった。原因は？

    A

     【SF-1U/SF-2U】原因の一つに、Snoop®のノズルの先が奥まで入り、成膜リングに接触すると位置がズレたり反転したりして膜ができない症状が起こり、修理が必要になりますコツ：Snoop®のチューブを4cm以上挿入しないこと。※ Snoop®は米国Swagelok社の商標登録です

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】精密膜流量計SF-＊Uと体積管VP-＊Uの機能は何ですか？

    A

     【SF-1U/SF-2U】高精度精密膜流量計（SFシリーズ）は、体積管ユニット（VPシリーズ）に接続してガスの流量を測定します。測定流量によって4種類の体積管を使い分けてください。体積管ユニットは、石鹸膜ディテクタを搭載しており体積管内を石鹸膜が通過する時間を測定しています。その測定値を温度や大気圧等で自動補正演算し、ガスの流量を算出しているのが高精度精密膜流量計となります。※メンテンナンスの際には、SFシリーズとVPシリーズは個別製品の取り扱いとなります

  • Q

     【SF-1U/SF-2U】SF-1U/SF-2Uの操作方法を教えてください。

    A

     {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}ページに操作説明動画を掲載しています。ご確認ください。⇒{{[SF設定・操作説明動画](https://players.brightcove.net/4684385811001/DrRnx6y2D_default/index.html?videoId=6308854972112)}}
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