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「熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ」に関連するカテゴリー
「熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ」に関連するFAQ
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  • Q

     流量単位、CCM・LMとSCCM・SLMの違い

    A

     質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。・SLM、SCCM⇒０℃ 1013hPa・LM、CCM⇒25℃ 1013hPa校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。

  • Q

     コンバージョンファクタ(C.F値)とは

    A

     マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series 、SEC-8000Seriesとなります。各種ガスのC.F.値は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     【SEC-Z500Xシリーズ】フルスケール流量1(S)CCMを計測・制御できるマスフローはありますか？

    A

     【SEC-Z500Xシリーズ】微小流量対応モデル：SEC(F)-Z500KXが1(S)CCMもしくは2(S)CCM対応しています。詳しくはSEC-Z500Xカタログを参照ください。

  • Q

     パソコンにデーターを取り込みたい

    A

     アナログマスフローかデジタルマスフローによって通信仕様や接続方法が異なります。型式をご確認の上、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。デジタルマスフローの場合、パソコンとの通信ツール {{[「シリアル龍馬」](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/Serial_ryoma_PDF.pdf)}} をご用意しています。「シリアル龍馬」により、パソコンから制御や管理が可能です。

  • Q

     【SEC-N100シリーズ】MGRとMGMの違いは何ですか？

    A

     【SEC-N100シリーズ】シール材質とリークレートの違いがあります。・MGR：ラバーシールタイプ・MGM：メタルシールタイプ外部リークレート及び流される対象ガスにより、適切なシールタイプをご選定ください。

  • Q

     マスフローの継手の取り外し

    A

     継手は取り外さないでください。マスフローは継手が付いた状態で調整している為、お客様で継手を取り外しを行うと保証対象外となり、さらに弊社で点検・修理が受けられなくなる場合もあります。また、リークの原因や入口側の継手を緩めると精度に影響する懸念があります。配管から外す際には継手が緩まないように、必ずマスフロー側にも工具等を使用して下さい。

  • Q

     【SEC-400シリーズ】保守サービスはいつまで受けれますか？

    A

     【SEC-400シリーズ】型式によって異なります。{{[生産終了のおしらせ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/discontinued-products/)}}のページで該当型式の「保守サービス期間」を参考にしてください。※部品在庫状況により早めに終了する可能性がございます。

  • Q

     【小型マスフローコントローラMF-C】継手のサイズはどのようなものがありますか？

    A

     【小型マスフローコントローラMF-C】適応流体により各種ラインナップしています。ワンタッチ継手（φ６、φ８）、Rc1/4、1/4インチ2重くい込み継手です。

  • Q

     【SEC-Z500Xシリーズ】ガス種を変更したい。

    A

     【SEC-Z500Xシリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCよりガス種を変更できます。対象モデル：SEC-Z500MGX

  • Q

     【SEC-Z500Xシリーズ】発注した仕様とZ500Xの銘板のガスとフルスケール流量が違うのはなぜですか？

    A

     【SEC-Z500Xシリーズ】Z500Xの背面の大きな銘板と側面の銘板は、MR.MG.番号で製作可能な最大のフルスケール流量(N2ガス)を表記しています。Z500Xの上面の小銘板は、お客様のご発注時のガスとフルスケール流量を記載しています。仕様確認は、上面の小銘板をご確認ください。
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