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コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)
QL-SGシリーズ
【QL-SGシリーズ】トラブルについて
測定中に最大使用圧力以上に上昇した場合、どのようなアラームが出てどういう動きをするでしょうか?
測定中に最大使用圧力以上に上昇した場合、どのようなアラームが出てどういう動きをするでしょうか?
最大使用圧力を少し超えても、すぐにアラームは出ず測定を続けます。|圧力が急激に上昇してしまった場合、フィラメント過電流エラーが発生し、測定が止まります。|※エラーの発生は、フィラメント電流の閾値を超えると発生します。圧力では判断していません。||圧力が上がりフィラメントに過電流が流れると、フィラメントが消耗し、断線しやすくなってしまいます。断線の可能性は、消耗していればいるほど大きくなります。
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