質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。|・SLM、SCCM⇒０℃ 1013hPa|・LM、CCM⇒25℃ 1013hPa|校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。|<img width="500px" alt="" src="https://storage.userlocal.jp/chatbot/images/da09955d-6be5-4d49-808c-afc38451ead9.png">