マルチレンジ・マルチガス機能が付いたマスフローは{{[コンフィグソフト](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/fluid-control/mass-flow-control/product-characteristic-of-digital-mass-flow-controller/multi-gas-multi-range-solution/)}}で流量単位の変更が可能です。|対象モデル：SEC-N100MGR/MGM, SEC-Z500MGX、SEC-Z700MGX, CRITERION||上記以外のマスフローは、弊社に返却・仕様変更(改造)が必要です。|詳しくは型式を確認の上、{{[お問い合わせ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}よりお問合せください。