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マスフローコントローラの内部のバルブでガスを止めることは可能ですか？
マスフローコントローラ内蔵の制御バルブは、シャットオフ性はありません。完全にガスを止めたい場合は、前段もしくは後段、又は、前後段にストップバルブを設置してガスを止めてください。
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