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「マスフローコントローラ/マスローメータ(共通)」に関連するFAQ
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  • Q

     マスフローコントローラの内部のバルブをフルクローズにしてガスを止めることは可能ですか？

    A

     マスフローコントローラ内蔵の制御バルブでガスをクローズすることは可能ですが、シャットオフ性はありません。完全にガスを止めたい場合は、前段もしくは後段、又は、前後段にストップバルブを設置してガスを止めてください。

  • Q

     仕様選定の際の必要な情報

    A

     ガス種、流量、継手などの情報が必要となります。{{[仕様選定フォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/selection-form/)}}をご用意しております。必要情報をご入力後、送信お願いします。選定させて頂きますので是非ご活用ください。SEC/SEFシリーズ選定フォームは{{[コチラ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/selection-form/sec-sef-series/)}}に入力してください。

  • Q

     マスフローコントローラを動かす際に何が必要ですか？

    A

     電源・設定器・表示部・ケーブルが必要です。制御ユニット{{[PE-D20](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/pe-d20-693/)}}は電源・設定器・表示部一体型になります。マスフローコントローラの基本的な制御が可能です。その他{{[アクセサリ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/accessories/)}}の組み合わせに関しては{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。

  • Q

     流量単位、CCM・LMとSCCM・SLMの違い

    A

     質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。・SLM、SCCM⇒０℃ 1013hPa・LM、CCM⇒25℃ 1013hPa校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。

  • Q

     コンバージョンファクタ(C.F値)とは

    A

     マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series 、SEC-8000Seriesとなります。各種ガスのC.F.値は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     水分を含むガスを流してもいいですか？

    A

     基本的にはドライガスを前提としてご使用ください。マスフロー内部で結露した場合は故障の原因となる可能性があります。

  • Q

     マスフローの継手の取り外し

    A

     継手は取り外さないでください。マスフローは継手が付いた状態で調整している為、お客様で継手を取り外しを行うと保証対象外となり、さらに弊社で点検・修理が受けられなくなる場合もあります。また、リークの原因や入口側の継手を緩めると精度に影響する懸念があります。配管から外す際には継手が緩まないように、必ずマスフロー側にも工具等を使用して下さい。

  • Q

     ゼロ点調整方法が知りたい

    A

     調整可能範囲が機種によって異なりますが、お客様にてゼロ点調整は可能です。ゼロ点調整方法については説明動画{{[「動画DE解説」](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}をご用意しておりますのでご確認ください。

  • Q

     パソコンにデーターを取り込みたい

    A

     アナログマスフローかデジタルマスフローによって通信仕様や接続方法が異なります。型式をご確認の上、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。デジタルマスフローの場合、パソコンとの通信ツール {{[「シリアル龍馬」](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/Serial_ryoma_PDF.pdf)}} をご用意しています。「シリアル龍馬」により、パソコンから制御や管理が可能です。

  • Q

     マスフローコントローラは在庫品でしょうか？

    A

     在庫品ではございません。お客様のご希望の仕様に合わせて受注生産しています。納期は都度お問合せください。
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