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熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ
デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)
「デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)」に関連するカテゴリー
SEC-N100シリーズ
SEC-Z500Xシリーズ
「デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)」に関連するFAQ
1 - 10件を表示 (全20件)
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】フルスケール流量1(S)CCMを計測・制御できるマスフローはありますか？
A
【SEC-Z500Xシリーズ】微小流量対応モデル：SEC(F)-Z500KXが1(S)CCMもしくは2(S)CCM対応しています。詳しくはSEC-Z500Xカタログを参照ください。
Q
【SEC-N100シリーズ】MGRとMGMの違いは何ですか？
A
【SEC-N100シリーズ】シール材質とリークレートの違いがあります。・MGR：ラバーシールタイプ・MGM：メタルシールタイプ外部リークレート及び流される対象ガスにより、適切なシールタイプをご選定ください。
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】ガス種を変更したい。
A
【SEC-Z500Xシリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCよりガス種を変更できます。対象モデル：SEC-Z500MGX
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】発注した仕様とZ500Xの銘板のガスとフルスケール流量が違うのはなぜですか？
A
【SEC-Z500Xシリーズ】Z500Xの背面の大きな銘板と側面の銘板は、MR.MG.番号で製作可能な最大のフルスケール流量(N2ガス)を表記しています。Z500Xの上面の小銘板は、お客様のご発注時のガスとフルスケール流量を記載しています。仕様確認は、上面の小銘板をご確認ください。
Q
【SEC-N100シリーズ】ガス種を変更したい。
A
【SEC-N100シリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCよりガス種を変更できます。SEC-N100MGR(W)はシール材質にラバーシールを使用しているので、非腐食性ガスのみ変更可能です。腐食性ガス種への変更は出来ません。
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】SEC-Z502Xの上面のLEDの状態を教えて下さい。※SEC-Z500X：アナログ通信/デジタル通信(RS-485 F-Netプロトコル)仕様
A
【SEC-Z500Xシリーズ】LEDの状態です。「緑点灯」・・・アナログ通信時「緑点滅」・・・デジタル通信時「赤点灯/赤点滅」・・・アラーム：ゼロ点補正異常(工場出荷時設定) ※納入後お客様でアラーム情報の変更可
Q
【SEC-N100シリーズ】SEC-N102の上面のLEDの状態を教えて下さい。※SEC-N102：アナログ通信/デジタル通信(RS-485 F-Netプロトコル)仕様
A
【SEC-N100シリーズ】SEC-N102 のLEDの状態です。「緑点灯」・・・アナログ通信時「緑点滅」・・・デジタル通信時「赤点灯/赤点滅」・・・アラーム：ゼロ点補正異常(工場出荷時設定) ※納入後お客様でアラーム情報の変更可
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】流量単位(SLM, SCCM, LM, CCM)を変更したい。
A
【SEC-Z500Xシリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCより変更できます。対象機種：SEC-Z500MGX(N)
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】腐食性のガスは流せますか？
A
【SEC-Z500Xシリーズ】腐食性ガスに対応しています。接ガス部内面研磨処理およびオールステンレス仕様です。詳しくは{{[コチラ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/sec-z500x-series-729/)}}を参照ください。
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】SEC-Z500XのカタログでSEC-Z512KXのフルスケール流量が1/2SCCMと記載があります。これは0.5SCCMの意味でしょうか？
A
【SEC-Z500Xシリーズ】フルスケール流量は0.5SCCMではなく、1SCCMもしくは2SCCMになります。
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