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QL-SGシリーズ

「コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)」に関連するFAQ

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【QL-MS02】QL-SG02シリーズの専用ソフト QL-MS02 (Micropole Scanner TM2ソフトウェア) は、どうやって入手できますか？

【QL-MS02】QL-MS02ソフトウェアの取扱説明書(HP非公開)に記載のURLよりダウンロード可能です。QL-SG02シリーズ製品納入前にソフトをご希望の場合は、営業担当もしくは{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せ下さい。※本ソフトはQL-SG02の専用ソフトとなります。QL-SG02シリーズのみ使用できます。

【QL-SGシリーズ】センサパラメータはなにを入力すればよいですか？

【QL-SGシリーズ】センサが入っているケースにパラメータ情報が記載されていますので入力してください。パラメータ情報は個体によって異なりますので、ケースは紛失しないようご注意ください。紛失した場合は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。※お問い合わせに際にはセンサ型式とシリアル番号の記載をお願いします。

【QL-SGシリーズ】フィラメント断線エラーがでた。対処法は？

【QL-SGシリーズ】・フィラメントA断線の場合は、フィラメントBを選択してご使用ください。その間に新しいセンサの準備をお願いします。・フィラメントB断線の場合は、既にフィラメントAが断線、もしくは過電流エラーを発生している場合は、新しいセンサに交換してください。

【QL-SGシリーズ】コミュニケーションエラーが出た際の対処方法を教えてください。

【QL-SGシリーズ】ケーブル類を再接続の上、ソフトを再起動し、確認してください。

【QL-MS02】コミュニケーションエラーが出た際の対処方法を教えてください。

【QL-MS02】ケーブル類を再接続の上、ソフトを再起動し、確認してください。

【QL-SGシリーズ】センサパラメータ情報の入力は手入力のみですか？

【QL-SGシリーズ】QL-SG01シリーズは手入力となります。QL-SG02シリーズは、パラメータファイルを保存・登録する事によりセンサパラメータを自動入力出来る機能があります。センサパラメータファイルは、専用ページにて検索・ダウンロードできます。(センサのシリアル番号が必要) ※この機能はQL-SG02シリーズのみとなります専用ページのリンク先は、営業担当もしくは{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

【QL-SGシリーズ】センサのケースを紛失したので、センサパラメータ情報が分かりません。どうすればよいですか？

【QL-SGシリーズ】センサに刻印されているセンサ型式とシリアル番号を確認し、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}から問い合わせください。SMPAセンサ(プラズマガード付)は、センサ側面に刻印されています。MPAセンサ(プラズマガード無)は、センサリング部に刻印されています。

【QL-SGシリーズ】デモ機はありますか？

【QL-SGシリーズ】はい、ご用意しております。詳細は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。センサは消耗品のため、センサのみお客様にてご購入ください。

【QL-SGシリーズ】全圧は各ガス分圧を足した合計になりますか？

【QL-SGシリーズ】分圧と全圧では二つの検出モードが存在しており、出力に違いがございます。分圧値の足し算が全圧という計算にはなりません。全圧は分圧の足し算ではないため、分圧が反応していても全圧が変わらず変化がない場合もございます。

【QL-SGシリーズ】センサは修理できますか？

【QL-SGシリーズ】修理は対応していません。新しいセンサに交換ください。