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「コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)」に関連するFAQ
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  • Q

     フィラメント断線エラーがでた。対処法は？

    A

     ・フィラメントA断線の場合は、フィラメントBを選択してご使用ください。その間に新しいセンサの準備をお願いします。・フィラメントB断線の場合は、既にフィラメントAが断線、もしくは過電流エラーを発生している場合は、新しいセンサに交換してください。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】コミュニケーションエラーが出た際の対処方法を教えてください。

    A

     ケーブル類を再接続の上、ソフトを再起動し、確認してください。

  • Q

     組み合わせはどのように選定すればよいですか？

    A

     センサとジェネレータと専用クランプ、各種アクセサリとなります。{{[仕様選定フォーム](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/RGA_QL-SG02_Form.pdf)}}にて選定し、販売店に見積と納期をお問合せください。詳細は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。

  • Q

     センサのケースを紛失したので、センサパラメータ情報が分かりません。どうすればよいですか？

    A

     センサに刻印されているセンサ型式とシリアル番号を確認し、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}から問い合わせください。SMPAセンサ(プラズマガード付)は、センサ側面に刻印されています。MPAセンサ(プラズマガード無)は、センサリング部に刻印されています。

  • Q

     センサパラメータ情報の入力は手入力のみですか？

    A

     QL-SG01シリーズは手入力となります。QL-SG02シリーズは、パラメータファイルを保存・登録する事によりセンサパラメータを自動入力出来る機能があります。センサパラメータファイルは、専用ページにて検索・ダウンロードできます。(センサのシリアル番号が必要) ※この機能はQL-SG02シリーズのみとなります専用ページのリンク先は、営業担当もしくは{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     測定中に最大使用圧力以上に上昇した場合、どのようなアラームが出てどういう動きをするでしょうか？

    A

     最大使用圧力を少し超えても、すぐにアラームは出ず測定を続けます。圧力が急激に上昇してしまった場合、フィラメント過電流エラーが発生し、測定が止まります。※エラーの発生は、フィラメント電流の閾値を超えると発生します。圧力では判断していません。圧力が上がりフィラメントに過電流が流れると、フィラメントが消耗し、断線しやすくなってしまいます。断線の可能性は、消耗していればいるほど大きくなります。

  • Q

     センサパラメータはなにを入力すればよいですか？

    A

     センサが入っているケースにパラメータ情報が記載されていますので入力してください。パラメータ情報は個体によって異なりますので、ケースは紛失しないようご注意ください。紛失した場合は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。※お問い合わせに際にはセンサ型式とシリアル番号の記載をお願いします。

  • Q

     生産中止QL-SG01シリーズの後継機QL-SG02シリーズは互換性はありますか？

    A

     QL-SG01シリーズとQL-SG02シリーズの互換性はありません。センサ、ジェネレータ、ソフトウェアに関しては、組み合わせて使用できません。　組合せ一例　”QL-SG01-***-1A+MPA/SMPA8-*-*/****” での使用は不可　”QL-SG02-***-1A+MPA/SMPA7-*-*/****” での使用は不可　※QL-MS01（ソフトウェア）+QL-SG02 での使用は不可製品名：残留ガス分析計Micropole System (2024年3月末 販売中止)　・MPA/SMPA7-*-*/****センサは2029年3月末まで販売継続

  • Q

     QL-SGシリーズは在庫品ですか？

    A

     はい、在庫品です。{{[仕様選定フォーム](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/RGA_QL-SG02_Form.pdf)}}にて選定し、販売店に見積と納期をお問合せください。

  • Q

     デモ機はありますか？

    A

     はい、ご用意しております。詳細は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。センサは消耗品のため、センサのみお客様にてご購入ください。
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