1. よくあるご質問
  2. 製品について
  3. コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)
「コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)」に関連するカテゴリー
「コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)」に関連するFAQ
1 - 10件を表示 (全14件)

  • Q

     【QL-MS02】QL-SG02シリーズの専用ソフト QL-MS02 (Micropole Scanner TM2ソフトウェア) は、どうやって入手できますか？

    A

     【QL-MS02】QL-MS02ソフトウェアの取扱説明書(HP非公開)に記載のURLよりダウンロード可能です。QL-SG02シリーズ製品納入前にソフトをご希望の場合は、営業担当もしくは{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せ下さい。※本ソフトはQL-SG02の専用ソフトとなります。QL-SG02シリーズのみ使用できます。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】センサのケースを紛失したので、センサパラメータ情報が分かりません。どうすればよいですか？

    A

     【QL-SGシリーズ】センサに刻印されているセンサ型式とシリアル番号を確認し、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}から問い合わせください。SMPAセンサ(プラズマガード付)は、センサ側面に刻印されています。MPAセンサ(プラズマガード無)は、センサリング部に刻印されています。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】センサは修理できますか？

    A

     【QL-SGシリーズ】修理は対応していません。新しいセンサに交換ください。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】フィラメント断線エラーがでた。対処法は？

    A

     【QL-SGシリーズ】・フィラメントA断線の場合は、フィラメントBを選択してご使用ください。その間に新しいセンサの準備をお願いします。・フィラメントB断線の場合は、既にフィラメントAが断線、もしくは過電流エラーを発生している場合は、新しいセンサに交換してください。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】測定中に最大使用圧力以上に上昇した場合、どのようなアラームが出てどういう動きをするでしょうか？

    A

     【QL-SGシリーズ】最大使用圧力を少し超えても、すぐにアラームは出ず測定を続けます。圧力が急激に上昇してしまった場合、フィラメント過電流エラーが発生し、測定が止まります。※エラーの発生は、フィラメント電流の閾値を超えると発生します。圧力では判断していません。圧力が上がりフィラメントに過電流が流れると、フィラメントが消耗し、断線しやすくなってしまいます。断線の可能性は、消耗していればいるほど大きくなります。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】デモ機はありますか？

    A

     【QL-SGシリーズ】はい、ご用意しております。詳細は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。センサは消耗品のため、センサのみお客様にてご購入ください。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】生産中止QL-SG01シリーズの後継機QL-SG02シリーズは互換性はありますか？

    A

     【QL-SGシリーズ】QL-SG01シリーズとQL-SG02シリーズの互換性はありません。センサ、ジェネレータ、ソフトウェアに関しては、組み合わせて使用できません。　組合せ一例　”QL-SG01-***-1A+MPA/SMPA8-*-*/****” での使用は不可　”QL-SG02-***-1A+MPA/SMPA7-*-*/****” での使用は不可　※QL-MS01（ソフトウェア）+QL-SG02 での使用は不可製品名：残留ガス分析計Micropole System (2024年3月末 販売中止)　・MPA/SMPA7-*-*/****センサは2029年3月末まで販売継続

  • Q

     【QL-SGシリーズ】組み合わせはどのように選定すればよいですか？

    A

     【QL-SGシリーズ】センサとジェネレータと専用クランプ、各種アクセサリとなります。{{[仕様選定フォーム](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/RGA_QL-SG02_Form.pdf)}}にて選定し、販売店に見積と納期をお問合せください。詳細は{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】センサパラメータ情報の入力は手入力のみですか？

    A

     【QL-SGシリーズ】QL-SG01シリーズは手入力となります。QL-SG02シリーズは、パラメータファイルを保存・登録する事によりセンサパラメータを自動入力出来る機能があります。センサパラメータファイルは、専用ページにて検索・ダウンロードできます。(センサのシリアル番号が必要) ※この機能はQL-SG02シリーズのみとなります専用ページのリンク先は、営業担当もしくは{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

  • Q

     【QL-SGシリーズ】QL-SGシリーズは在庫品ですか？

    A

     【QL-SGシリーズ】はい、在庫品です。{{[仕様選定フォーム](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/RGA_QL-SG02_Form.pdf)}}にて選定し、販売店に見積と納期をお問合せください。
カテゴリー

一般的なお問い合わせ (23件)

製品について (153件)

お役立ち情報 (20件)

本サービスでは、サービスの利便向上のため、Cookieを利用します。サービスを利用することで、Cookieの使用に同意するものとします。