for Semiconductor
Search
English
HORIBAグループ企業情報
Japan
堀場エステック会社情報
製品情報
サポート
お問い合わせ
FAQ
国・地域
International
Österreich
Brasil
中国
Česko
France
Deutschland
India
日本
한국
Polska
Россия
Singapore
España
台灣
ประเทศไทย
Türkiye
United Kingdom
United States
Việt Nam
変更
よくあるご質問
製品について
高精度精密膜流量計(SF-U)
精密膜流量計SF-1U/SF-2Uと体積管VP-1U/2U/3U/4U
SF-1U/SF-2Uの使い方について
ガス種H2,Heを測定する場合の注意点は?
ガス種H2,Heを測定する場合の注意点は?
HeやH2は大気より比重が軽いため、石鹸膜が本来の流量より早く上昇します。|また、ガスの透過による影響もあります。|H2(He)の測定前に体積管の体積値の3~5倍程度量のHe(H2)を流し、内部の大気を十分に排気、置換してください。置換後10分前後の放置であっても大気が再混入しますので、その場合は再度置換の必要になります。|その後、湿らし作業実施直後に測定するようにお願いします。
問題は解決しましたか?
解決した
解決していない
カテゴリー
一般的なお問い合わせ
(15件)
資料をダウンロードしたい
コンフィグソフトについて
製品について
(119件)
マスフローコントローラ(共通)
エコノミーマスフロー(SEC-E40/E50)(SEC-400※生産終了製品)
デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)
小型マスフローコントローラ(MF-C)
小型流量センサ(MF-F/MF-F2)
HORIBA Precision Instruments社製品(S48/S600/MT-51/MT-51D)
高温用デジタルマスフローコントローラ(SEC-8000F/D/E)
小型液体流量計(LW/LD/LM-W/LM)
制御ユニット/モニタユニット(PE-D20/PE-D10)
高精度精密膜流量計(SF-U)
ポータブル水素発生器(OPGU)
コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)
本サービスでは、サービスの利便向上のため、Cookieを利用します。サービスを利用することで、Cookieの使用に同意するものとします。