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エコノミーマスフロー(SEC-E40/E50)（SEC-400※生産終了製品）

SEC-E40/E50

SEC-400シリーズ【生産終了製品】

「エコノミーマスフロー(SEC-E40/E50)（SEC-400※生産終了製品）」に関連するFAQ

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【SEC-E40/E50】腐食性ガスへの使用は可能ですか？

【SEC-E40/E50】腐食性ガスには対応しておりません。接ガス部材質に、フッ素ゴムを使用しているためです。基本的には、適応流体は非腐食性ガスのみになります。

【SEC-400シリーズ】後継機種との互換性はありますか？

【SEC-400シリーズ】互換性はありません。コネクタ形状(丸型コネクタ⇒D-Sub9ピン型コネクタ）が異なります。バルブタイプによりご提案できる後継機種が異なります。後継機種の型式選定については、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。

【SEC-400シリーズ】保守サービスはいつまで受けれますか？

【SEC-400シリーズ】型式によって異なります。{{[生産終了のおしらせ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/discontinued-products/)}}のページで該当型式の「保守サービス期間」を参考にしてください。※部品在庫状況により早めに終了する可能性がございます。

【SEC-E40/E50】MK3製品とMK3無し製品とでは、何が異なっていますか？

【SEC-E40/E50】MK3モデルは、対象ガスを限定することにより価格をお求めやすく設定しております。SEC-E40/50の性能は同一です。対象ガス：N2、O2、Air、H2、Ar、He上記以外のガスはMK３対応出来ませんが、非腐食性ガスであればSEC-E40で対応しています。

【SEC-E40/E50】ピンアサインの1番ピン、バルブ強制開閉入力の役割は何ですか？

【SEC-E40/E50】設定流量と関係なく強制オープン/クローズが出来ます。1番ピンと+15Vを接続・・・強制オープン1番ピンとー15Vを接続・・・強制クローズ※通常の制御状態では、1番ピンは解放(何も接続しない）状態にして下さい。

【SEC-E40/E50】流量単位(SLM, SCCM, LM, CCM)を変更したい。

【SEC-E40/E50】製品を弊社に返却し、改造作業が必要になります。

【SEC-E40/E50】MK3は何の意味ですか？

【SEC-E40/E50】ガス種限定仕様になります。ガス種がN2, Ar, O2, H2, He, Airの場合のみガス種限定仕様として、お求めやすい価格でご提供しています。上記以外のガスはMK３対応出来ませんが、非腐食性ガスであればSEC-E40で対応可能です。

【SEC-E40/E50】マスフローメータSEF-E40/E50はMK3仕様がありますか？

【SEC-E40/E50】マスフローメータSEF-E40/E50にはMK3仕様はありません。