「よくあるお問い合わせ」に関連するFAQ | よくあるご質問（FAQ）- HORIBA

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「よくあるお問い合わせ」に関連するFAQ

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【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】マスフローメータの２次側を真空で使えますか？

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】使用できません。マスフローメータはバルブ部がないため、センサが真空域にさらされます。真空域では、ガス流れの性質が粘性流から分子流へ変わります。分子流というのは、非常に希薄な状態のガスのことです。熱式センサーにとって、ある一定以上ガスが希薄になれば、ガスが熱を伝えることが出来なくなるため、センサ感度の低下が懸念され原理上、検出ができません。（真空度により、現象に大小の差異はあります。）

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】ガスボンベからMFCを繋いで制御は可能ですか？

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】ガスボンベレギュレータで圧力を調圧し、配管につないでマスフローへガスを供給することは可能です。しかし、ガスボンベレギュレータではシビアな圧力調整は厳しい場合があります。途中でラインレギュレータを設け、ボンベレギュレータで一旦0.5MPa(G)まで圧力を落とし、ラインレギュレーターで0.2MPa(G)ぐらいに調圧されることを推奨します。

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】2次側から逆圧がかかった場合はどうなりますか？逆止弁は付けた方がいいですか？

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】逆圧がかかった場合、ガスは逆流します。その場合、表示はマイナス側に数値が表示されます。逆止弁の設置の有無ですが、お客様のご使用環境や安全面を考慮してご判断頂けますようお願いします。必要に応じて逆止弁やストップバルブを設けるなどの対策をして下さい。

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】カタログスペックの使用圧力以上の圧力に対応可能なマスフローはありますか？

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】中圧仕様となりますが、使用圧力と動作差圧幅を区切ってMax0.95MPa(G)まで対応可能です。型式は特殊仕様となりますので、1次側圧力と2次側圧力をご指定のうえ、ご相談ください。

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】マスフローコントローラは問題なく制御できているが、ある一定の周期で出力が跳ねるが、どうしたらいいですか？

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】レギュレータの流量サイズとマスフローの流量が合っていない場合、そのような現象が起こる可能性があります。レギュレータ内にガス溜まりができ、溜まったガスが一定間隔で放出され、周期的に流量が跳ねる傾向があります。レギュレータメーカにご相談ください。

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】カタログスペックの圧力条件に調圧しようと思うが、1次側と2次側どちらで調整した方がいいですか？

【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】どちらでも圧力調整は可能ですが、ご使用環境によって2次側の条件が様々なので、1次側で圧力調整して頂く方がより調整し易いかと思います。

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