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「お役立ち情報」に関連するFAQ
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  • Q

     ゼロ点調整について　Part.2 ～必見！ゼロ点調整のご注意点～【ゼロ点調整って？注意点と調整方法のコツ★日常メンテナンスのご参考に！】

    A

     マスフローコントローラのゼロ点ズレ。これは、日常的にお使いいただく中で生じる電気部品の経時的な特性変化によるものです。その対処法として、ゼロ点ズレを戻す「ゼロ点調整」を行います。(※腐食によるセンサ抵抗値のズレ等は除く)しかし！誤った状態でゼロ点調整してしまうと、ゼロ点補正可能範囲をオーバーし補正ができなくなったり、ゼロ点補正異常アラームが発生してしまいます。そうならないためにも、必ず守っていただきたいご注意点をお伝えします！✅　ゼロ点調整のご注意点！⇒{{[＼必見！ゼロ点調整のご注意点／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E3%82%BC%E3%83%AD%E7%82%B9%E8%AA%BF%E6%95%B4%20%E6%B3%A8%E6%84%8F%E7%82%B9_2%E3%80%80%E8%BF%BD%E5%8A%A0.pdf?version=0)}}

  • Q

     圧力って大事です【MFCの圧力条件攻略法！基礎のキソ★知っておきたい重要ポイント★】

    A

     カタログでよく見るマスフローコントローラの圧力条件。カタログスペックの精度を満たし、問題なく使用されるためには、圧力条件を守っていただく事がとても重要です。カタログに出てくる動作圧力・動作差圧・耐圧など用語の意味やご使用上のポイントをご紹介します！✅動作圧力・動作差圧・耐圧の違いって何・・？カタログの見方✅カタログの圧力条件よりも圧力が高いとどうなるの？低いとどうなる？？⇒{{[＼用語説明とカタログの見方／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E5%9C%A7%E5%8A%9B%E3%80%80%E7%94%A8%E8%AA%9E%E3%81%A8%E3%82%AB%E3%82%BF%E3%83%AD%E3%82%B0%E3%81%AE%E8%A6%8B%E6%96%B9.pdf?version=0)}}マスフローコントローラが「制御できない」「ふらつきがある」「流量が少ない」と思ったら、まずは圧力条件を確認し、供給圧力を上げたり下げたりして調整を試してみてください。それでも症状が改善しない場合は、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からご相談下さい。

  • Q

     リプレイスのご提案【まだお使いですか？？生産終了製品 ～リプレイスのご提案～ 】

    A

     ✅ 10年以上システムをご使用中の方✅ 生産終了製品を現在も使用されている方✅ 電気系の不具合発生などによる予期せぬ停止を心配されている方 生産終了となって長年が経過した旧モデル製品のお問合せを頂くことが少なくありません。これらの製品は、いつ経年劣化による電気系の不具合や予期せぬ停止が発生してもおかしくありません。＊こんなお困りごとはありませんか？＊＼後継機種はどの型式を選んだらいい？できれば互換性がほしい・・／⇒{{[置き換えポイントはこちら！](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E7%BD%AE%E3%81%8D%E6%8F%9B%E3%81%88%E8%B3%87%E6%96%99%E3%80%80%E3%83%9D%E3%82%A4%E3%83%B3%E3%83%88%20%E6%9C%80%E7%B5%82%2020241015.pdf?version=0)}}マスフローは受注生産品となります。いざ！という時のために、現行モデルへの置き換え・予備品のご準備をご検討ください！

  • Q

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】熱式マスフロー各シリーズの特長を教えてください。

    A

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】熱式マスフローの特長です。

  • Q

     保守サービスについてPart.1～定額制とは？対象製品は？～【保守サービスのギモンを解決★知っておきたいポイント★】

    A

     製品を精度よくお使いいただくための定期点検・校正や、不具合による修理・オーバーホールなどの保守サービスを行っております。堀場エステックでは、2022年12月～定額制を導入し、返送いただいた製品は受付後すぐに作業を行い、速やかにお客様の元へご返却できるよう迅速な対応を目指しています。そこで、「定額制って？どうやって依頼したらいいの？」などのお悩みやギモンにお答えします！✅　定額制って？対象製品は？⇒{{[＼定額制とは？対象製品は？／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E4%BF%9D%E5%AE%88%E3%82%B5%E3%83%BC%E3%83%93%E3%82%B9%E3%80%80%E5%AE%9A%E9%A1%8D%E5%88%B6%E3%80%80%E4%BD%9C%E6%A5%AD%E5%86%85%E5%AE%B9%20%E6%9C%80%E7%B5%82%20Ver1.pdf?version=0)}}

  • Q

     精密膜流量計について【高精度精密膜流量計とは？詳しく解説！★知っておきたいポイント★】

    A

     今回は、高精度な流量計測が可能な、精密膜流量計のご紹介と知っておきたい重要ポイントをお伝えします。堀場エステックのロングセラー製品で、通気量や漏れ量の計測、各種気体流量計、制御機器の流量校正用の社内基準器として、多くのユーザーの方々にご使用いただいております。一定の体積をガスによって押された石鹸膜が移動する時間から、温度、大気圧などの自動補正を行い、高精度な流量測定を実現します。圧力損失がほとんどないので、低差圧でのガス測定も可能です。✅　精密膜流量計・体積管って何？どうやって使うの？✅　知っておきたい使用上のポイントとご注意点⇒{{[＼精密膜流量計　 ”完全ガイド”／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E7%B2%BE%E5%AF%86%E8%86%9C%E6%B5%81%E9%87%8F%E8%A8%88%E3%81%A3%E3%81%A6%E3%83%8A%E3%83%8B%E3%80%80%E6%9C%80%E7%B5%82.pdf?version=0)}}Webサイト {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}にて詳しいご説明をしておりますので、よろしければご覧ください。もし操作方法などに迷われたら、お気軽にご相談ください！

  • Q

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】マスフローコントローラは問題なく制御できているが、ある一定の周期で出力が跳ねるが、どうしたらいいですか？

    A

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】レギュレータの流量サイズとマスフローの流量が合っていない場合、そのような現象が起こる可能性があります。レギュレータ内にガス溜まりができ、溜まったガスが一定間隔で放出され、周期的に流量が跳ねる傾向があります。レギュレータメーカにご相談ください。

  • Q

     保守サービスについてPart.2～依頼方法は？返却時の注意点は？～【保守サービスのギモンを解決★知っておきたいポイント★】

    A

     製品を精度よくお使いいただくための定期点検・校正や、不具合による修理・オーバーホールなどの保守サービスを行っております。堀場エステックでは、2022年12月～定額制を導入し、返送いただいた製品は受付後すぐに作業を行い、速やかにお客様の元へご返却できるよう迅速な対応を目指しています。そこで、「定額制って？どうやって依頼したらいいの？」などのお悩みやギモンにお答えします！✅　どうやって依頼したらいいの？✅　返送時の注意点とお願い⇒{{[＼依頼方法は？返却時の注意点の紹介／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E4%BF%9D%E5%AE%88%E3%82%B5%E3%83%BC%E3%83%93%E3%82%B9%E3%80%80%E4%BE%9D%E9%A0%BC%E6%96%B9%E6%B3%95%E3%80%80%E6%B3%A8%E6%84%8F%E7%82%B9%E3%80%80%E6%9C%80%E7%B5%82%E3%81%AE%E6%9C%80%E7%B5%82.pdf?version=0)}}{{[＊保守サービス（Webページ）](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/maintenance-service/)}}

  • Q

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】マスフローメータの２次側を真空で使えますか？

    A

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】使用できません。マスフローメータはバルブ部がないため、センサが真空域にさらされます。真空域では、ガス流れの性質が粘性流から分子流へ変わります。分子流というのは、非常に希薄な状態のガスのことです。熱式センサーにとって、ある一定以上ガスが希薄になれば、ガスが熱を伝えることが出来なくなるため、センサ感度の低下が懸念され原理上、検出ができません。（真空度により、現象に大小の差異はあります。）

  • Q

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】2次側から逆圧がかかった場合はどうなりますか？逆止弁は付けた方がいいですか？

    A

     【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】逆圧がかかった場合、ガスは逆流します。その場合、表示はマイナス側に数値が表示されます。 逆止弁の設置の有無ですが、お客様のご使用環境や安全面を考慮してご判断頂けますようお願いします。 必要に応じて逆止弁やストップバルブを設けるなどの対策をして下さい。
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