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「お役立ちガイド」に関連するFAQ
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  • Q

     コンフィグソフトのご紹介【簡単に仕様変更できるソフト：コンフィグソフトをご存知ですか？】

    A

     <マスフローのこんなお悩みはありませんか？>✅突発的なトラブル用代品管理に困っているんだけど・・✅予備品の台数を減らせないかな？✅1台のマスフローで、ガス種やフルスケール流量を変更して使いたい！→こんな時には、マルチレンジ・マルチガス機能対応マスフローで解決できます！{{[\ コンフィグソフトの知っておきたいポイント /](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%83%AB%E3%83%9E%E3%82%AC%E3%82%B8%E3%83%B3%E3%80%80%E3%82%B3%E3%83%B3%E3%83%95%E3%82%A3%E3%82%B0%E3%82%BD%E3%83%95%E3%83%88%20ver.5.pdf?version=0)}}マルチレンジ/マルチガス機能 とは？コンフィグソフトを使って、お客さまご自身でガス種の変更やフルスケールの流量変更が行える機能です。PCと接続して、マスフローをガスパネルや配管から取り外すことなく、多様なガス種・流量への仕様変更ができます。お客さまに予備品として管理いただいているマスフローの低減と、コスト・時間の削減をご提案できますので、ぜひご活用ください！

  • Q

     リプレイスのご提案【まだお使いですか？？生産終了製品 ～リプレイスのご提案～ 】

    A

     ✅ 10年以上システムをご使用中の方✅ 生産終了製品を現在も使用されている方✅ 電気系の不具合発生などによる予期せぬ停止を心配されている方 生産終了となって長年が経過した旧モデル製品のお問合せを頂くことが少なくありません。これらの製品は、いつ経年劣化による電気系の不具合や予期せぬ停止が発生してもおかしくありません。＊こんなお困りごとはありませんか？＊＼後継機種はどの型式を選んだらいい？できれば互換性がほしい・・／⇒{{[置き換えポイントはこちら！](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E7%BD%AE%E3%81%8D%E6%8F%9B%E3%81%88%E8%B3%87%E6%96%99%E3%80%80%E3%83%9D%E3%82%A4%E3%83%B3%E3%83%88%20%E6%9C%80%E7%B5%82%2020241015.pdf?version=0)}}マスフローは受注生産品となります。いざ！という時のために、現行モデルへの置き換え・予備品のご準備をご検討ください！

  • Q

     ゼロ点調整について　Part.1～ゼロ点がズレていたらどうなるの？～【ゼロ点調整って？注意点と調整方法のコツ★日常メンテナンスのご参考に！】

    A

     マスフローコントローラのゼロ点ズレ。これは、日常的にお使いいただく中で生じる電気部品の経時的な特性変化によるものです。その対処法として、ゼロ点ズレを戻す「ゼロ点調整」を行います。(※腐食によるセンサ抵抗値のズレ等は除く)しかし！誤った状態でゼロ点調整してしまうと、ゼロ点補正可能範囲をオーバーし補正ができなくなったり、ゼロ点補正異常アラームが発生してしまいます。そうならないためにも、必ず守っていただきたいご注意点をお伝えします！✅　ゼロ点とは？なぜゼロ点が必要？✅　もしゼロ点がズレたまま使用したらどうなるの？？⇒{{[\ゼロ点がズレていたらどうなるの？/](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E3%82%BC%E3%83%AD%E7%82%B9%E8%AA%BF%E6%95%B4%E3%80%80%E3%82%BC%E3%83%AD%E7%82%B9%E3%81%8C%E3%81%9A%E3%82%8C%E3%81%A6%E3%81%84%E3%81%9F%E3%82%89%E3%81%A9%E3%81%86%E3%81%AA%E3%82%8B.pdf?version=0)}}

  • Q

     ゼロ点調整について　Part.2 ～必見！ゼロ点調整のご注意点～【ゼロ点調整って？注意点と調整方法のコツ★日常メンテナンスのご参考に！】

    A

     マスフローコントローラのゼロ点ズレ。これは、日常的にお使いいただく中で生じる電気部品の経時的な特性変化によるものです。その対処法として、ゼロ点ズレを戻す「ゼロ点調整」を行います。(※腐食によるセンサ抵抗値のズレ等は除く)しかし！誤った状態でゼロ点調整してしまうと、ゼロ点補正可能範囲をオーバーし補正ができなくなったり、ゼロ点補正異常アラームが発生してしまいます。そうならないためにも、必ず守っていただきたいご注意点をお伝えします！✅　ゼロ点調整のご注意点！⇒{{[＼必見！ゼロ点調整のご注意点／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E3%82%BC%E3%83%AD%E7%82%B9%E8%AA%BF%E6%95%B4%20%E6%B3%A8%E6%84%8F%E7%82%B9_2%E3%80%80%E8%BF%BD%E5%8A%A0.pdf?version=0)}}

  • Q

     圧力って大事です【MFCの圧力条件攻略法！基礎のキソ★知っておきたい重要ポイント★】

    A

     カタログでよく見るマスフローコントローラの圧力条件。カタログスペックの精度を満たし、問題なく使用されるためには、圧力条件を守っていただく事がとても重要です。カタログに出てくる動作圧力・動作差圧・耐圧など用語の意味やご使用上のポイントをご紹介します！✅動作圧力・動作差圧・耐圧の違いって何・・？カタログの見方✅カタログの圧力条件よりも圧力が高いとどうなるの？低いとどうなる？？⇒{{[＼用語説明とカタログの見方／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E5%9C%A7%E5%8A%9B%E3%80%80%E7%94%A8%E8%AA%9E%E3%81%A8%E3%82%AB%E3%82%BF%E3%83%AD%E3%82%B0%E3%81%AE%E8%A6%8B%E6%96%B9.pdf?version=0)}}マスフローコントローラが「制御できない」「ふらつきがある」「流量が少ない」と思ったら、まずは圧力条件を確認し、供給圧力を上げたり下げたりして調整を試してみてください。それでも症状が改善しない場合は、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からご相談下さい。

  • Q

     マスフローのアクセサリについて【どれを選べばいい？★マスフローのアクセサリを選ぶコツ★】

    A

     お客さまのご使用目的に応じた専用アクセサリを多数ラインアップしていますが、種類が多いためどれを選べばいいか分からない・・というお声をいただくことがあります。今回はマスフロー専用アクセサリの機能や種類、接続例までを詳しくご紹介いたします！✅　マスフロー専用アクセサリのご紹介✅　アクセサリの機能は？どれを選択するべき？✅　種類・接続例のコツ★⇒{{[＼マスフローアクセサリのご紹介／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E3%82%A2%E3%82%AF%E3%82%BB%E3%82%B5%E3%83%AA%E3%83%BC%E3%81%AF%E3%81%A9%E3%82%8C%E3%81%8C%E3%81%84%E3%81%84%E3%81%AE%20ver1.pdf?version=0)}}{{[＼仕様選定フォーム／](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/selection-form/)}}では、お客さまのご用途に応じた最適なアクセサリをご提案いたします。ご希望のご使用方法をお選びください。

  • Q

     水素発生機について【これで分かる水素発生機★知っておきたいポイントご紹介★】

    A

     次世代のクリーンエネルギーで注目の水素。純水の電気分解により、手軽で安全性の高い高純度水素ガスを発生させる装置がOPGUシリーズです。ガスクロマトグラフや炭化水素計、SO₂計などの燃料ガスの他、物理・化学実験室用水素源としてご使用いただけます。✅　水素発生機の構成・仕組みを解説✅　ご使用上の気を付けたいポイント・注意点はこちら！✅　推奨消耗品のご紹介⇒{{[＼水素発生機 OPGUシリーズ ”完全ガイド”／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E6%B0%B4%E7%B4%A0%E7%99%BA%E7%94%9F%E6%A9%9F%E3%81%A3%E3%81%A6%E3%83%8A%E3%83%8B%20ver.2.pdf?version=0)}}すでにご使用中のお客様には、こちらの {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}にて基本操作・アラームのご紹介などをしております。是非ご覧ください！！

  • Q

     精密膜流量計について【高精度精密膜流量計とは？詳しく解説！★知っておきたいポイント★】

    A

     今回は、高精度な流量計測が可能な、精密膜流量計のご紹介と知っておきたい重要ポイントをお伝えします。堀場エステックのロングセラー製品で、通気量や漏れ量の計測、各種気体流量計、制御機器の流量校正用の社内基準器として、多くのユーザーの方々にご使用いただいております。一定の体積をガスによって押された石鹸膜が移動する時間から、温度、大気圧などの自動補正を行い、高精度な流量測定を実現します。圧力損失がほとんどないので、低差圧でのガス測定も可能です。✅　精密膜流量計・体積管って何？どうやって使うの？✅　知っておきたい使用上のポイントとご注意点⇒{{[＼精密膜流量計　 ”完全ガイド”／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E7%B2%BE%E5%AF%86%E8%86%9C%E6%B5%81%E9%87%8F%E8%A8%88%E3%81%A3%E3%81%A6%E3%83%8A%E3%83%8B%E3%80%80%E6%9C%80%E7%B5%82.pdf?version=0)}}Webサイト {{[動画de解説](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/commentary-with-video/)}}にて詳しいご説明をしておりますので、よろしければご覧ください。もし操作方法などに迷われたら、お気軽にご相談ください！

  • Q

     仕様選定について【マスフローの選定にお困りの方へ！ピッタリのマスフローをご提案★】

    A

     堀場エステックでは、半導体・液晶・LED製造装置、一般工業、大学・研究所実験と、多くのマスフローコントローラをラインナップ、お客様のご用途に合わせた製品をご提供しています。一方で、どのマスフローを選んだらいいのか迷われているお客様も少なくありません。そこで、マスフロー仕様選定フォームをご紹介いたします。流したいガスやフルスケール流量、継手、通信タイプやご使用用途など、必要な条件をお聞かせください。お客様に最適なマスフローをご提案いたします！Webサイト{{[「マスフローコントローラ選定フォーム」](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/selection-form/)}}ページにて、ご希望の条件を入力してください。条件をもとに仕様選定し、担当者よりご提案いたします。

  • Q

     定期点検について【これだけは知っておいて！How toマスフロー定期点検】

    A

     マスフローの異常を少しでも早く検知するには、日ごろの定期点検が欠かせません。そこで、今回はユーザの皆さんご自身に行っていただく定期点検の手順をご案内します。安全かつ安定的にマスフローをご使用いただくために、是非とも参考にしてください。✅　定期点検の方法について知りたい！✅　マスフローを使っているがノーメンテナンス✅　安定的・長期的にマスフローを使いたい⇒{{[＼How to 定期点検ガイド”／](https://pages.horiba.com/rs/451-OBT-016/images/%E5%AE%9A%E6%9C%9F%E7%82%B9%E6%A4%9C%E3%80%80%E6%9C%80%E7%B5%82%E3%81%AE%E6%9C%80%E7%B5%82.pdf?version=0)}}マスフローを正常な状態に維持し、精度良くお使いいただくために保守サービスを行っております。製品を返却いただき、トレーサビリティがとれた機器で点検・校正作業をおこないます。堀場エステックでは年に１回の点検校正作業を推奨しています。{{[保守サービス(点検校正・修理・オーバーホール)ページ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/maintenance-service/)}}
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