【SEC-N100シリーズ】|・SEC-N100MGR(W)は、シール材質にラバーシールを使用しているため、腐食性ガスには対応しておりません。|・SEC-N100MGM(W)はシール材質がメタルシールのため、腐食性ガスに対応しています。|・詳しくは{{[コチラ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/sec-n100-series-656/)}}を参照ください。|※＜推奨＞接ガス部がオールステンレス製で、内面研磨処理を施しているSEC-Z500Xシリーズのご使用をおすすめします。