for Semiconductor
Search
English
HORIBAグループ企業情報
Japan
堀場エステック会社情報
製品情報
サポート
お問い合わせ
FAQ
国・地域
International
Österreich
Brasil
中国
Česko
France
Deutschland
India
日本
한국
Polska
Россия
Singapore
España
台灣
ประเทศไทย
Türkiye
United Kingdom
United States
Việt Nam
変更
よくあるご質問
製品について
コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)
QL-SGシリーズ
【QL-SGシリーズ】トラブルについて
「【QL-SGシリーズ】トラブルについて」に関連するFAQ
1 - 4件を表示 (全4件)
Q
【QL-SGシリーズ】コミュニケーションエラーが出た際の対処方法を教えてください。
A
ケーブル類を再接続の上、ソフトを再起動し、確認してください。
Q
測定中に最大使用圧力以上に上昇した場合、どのようなアラームが出てどういう動きをするでしょうか？
A
最大使用圧力を少し超えても、すぐにアラームは出ず測定を続けます。圧力が急激に上昇してしまった場合、フィラメント過電流エラーが発生し、測定が止まります。※エラーの発生は、フィラメント電流の閾値を超えると発生します。圧力では判断していません。圧力が上がりフィラメントに過電流が流れると、フィラメントが消耗し、断線しやすくなってしまいます。断線の可能性は、消耗していればいるほど大きくなります。
Q
センサは修理できますか？
A
修理は対応していません。新しいセンサに交換ください。
Q
フィラメント断線エラーがでた。対処法は？
A
・フィラメントA断線の場合は、フィラメントBを選択してご使用ください。その間に新しいセンサの準備をお願いします。・フィラメントB断線の場合は、既にフィラメントAが断線、もしくは過電流エラーを発生している場合は、新しいセンサに交換してください。
1
カテゴリー
一般的なお問い合わせ
(15件)
資料をダウンロードしたい
コンフィグソフトについて
製品について
(119件)
マスフローコントローラ(共通)
エコノミーマスフロー(SEC-E40/E50)（SEC-400※生産終了製品）
デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)
小型マスフローコントローラ(MF-C)
小型流量センサ(MF-F/MF-F2)
HORIBA Precision Instruments社製品(S48/S600/MT-51/MT-51D)
高温用デジタルマスフローコントローラ(SEC-8000F/D/E)
小型液体流量計(LW/LD/LM-W/LM)
制御ユニット/モニタユニット(PE-D20/PE-D10)
高精度精密膜流量計(SF-U)
ポータブル水素発生器(OPGU)
コンパクトプロセスガスモニタ(MICROPOLE SYSTEM)
本サービスでは、サービスの利便向上のため、Cookieを利用します。サービスを利用することで、Cookieの使用に同意するものとします。