CU-2130はマスフローコントローラが外付けのため、|使用環境、試験条件の変更に合わせて、簡単に取り換え可能です。|設定や操作方法はコントロールユニットPE-D20と同じです。||CU-2140は、マスフローコントローラと多機能制御ユニットPE-S7を一体にし、ユニットの中にマスフローコントローラを内蔵しています。|PE-S7と同様にプリセット機能、積算機能、プログラム設定機能を付帯しており、設定や操作方法も同じです。