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  5. 【小型マスフローコントローラMF-C】適応流体は？
【小型マスフローコントローラMF-C】
適応流体は？
【小型マスフローコントローラMF-C】|適応流体は以下になります。|＜樹脂ボディ・ステンレスボディ＞|AI(空気・窒素)||＜ステンレスボディ＞|AR(アルゴン)|O2(酸素)|LN(都市ガス)|C1(メタン)|C2(プロパン)|C3(炭酸ガス・二酸化炭素)||＜ステンレスボディ＞|H2(水素)|HE(ヘリウム)
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