【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】|使用できません。マスフローメータはバルブ部がないため、センサが真空域にさらされます。|真空域では、ガス流れの性質が粘性流から分子流へ変わります。|分子流というのは、非常に希薄な状態のガスのことです。|熱式センサーにとって、ある一定以上ガスが希薄になれば、ガスが熱を伝えることが出来なくなるため、センサ感度の低下が懸念され原理上、検出ができません。|（真空度により、現象に大小の差異はあります。）