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【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】
マスフローコントローラは問題なく制御できているが、ある一定の周期で出力が跳ねるが、どうしたらいいですか？
【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】|レギュレータの流量サイズとマスフローの流量が合っていない場合、そのような現象が起こる可能性があります。|レギュレータ内にガス溜まりができ、溜まったガスが一定間隔で放出され、周期的に流量が跳ねる傾向があります。|レギュレータメーカにご相談ください。
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