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【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】
ガスボンベからMFCを繋いで制御は可能ですか？
【マスフローコントローラ/マスフローコントメータ】|ガスボンベレギュレータで圧力を調圧し、配管につないでマスフローへガスを供給することは可能です。|しかし、ガスボンベレギュレータではシビアな圧力調整は厳しい場合があります。|途中でラインレギュレータを設け、ボンベレギュレータで一旦0.5MPa(G)まで圧力を落とし、ラインレギュレーターで0.2MPa(G)ぐらいに調圧されることを推奨します。
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