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熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ
「熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ」に関連するカテゴリー
マスフローコントローラ/マスローメータ(共通)
エコノミーマスフロー(SEC-E40/E50)（SEC-400※生産終了製品）
デジタルマスフローコントローラ(SEC-N100/SEC-Z500X)
小型マスフローコントローラ(MF-C)
小型流量センサ(MF-F/MF-F2)
高温用デジタルマスフローコントローラ(SEC-8000F/D/E)
「熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ」に関連するFAQ
11 - 20件を表示（全67件）
Q
【SEC-400シリーズ】後継機種との互換性はありますか？
A
【SEC-400シリーズ】互換性はありません。コネクタ形状(丸型コネクタ⇒D-Sub9ピン型コネクタ）が異なります。バルブタイプによりご提案できる後継機種が異なります。後継機種の型式選定については、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問い合わせください。
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】フルスケール流量1(S)CCMを計測・制御できるマスフローはありますか？
A
【SEC-Z500Xシリーズ】微小流量対応モデル：SEC(F)-Z500KXが1(S)CCMもしくは2(S)CCM対応しています。詳しくはSEC-Z500Xカタログを参照ください。
Q
パソコンにデーターを取り込みたい
A
アナログマスフローかデジタルマスフローによって通信仕様や接続方法が異なります。型式をご確認の上、{{[お問い合わせフォーム](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/about-us/stec/contact/)}}からお問合せください。デジタルマスフローの場合、パソコンとの通信ツール {{[「シリアル龍馬」](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/Semiconductor/FAQ/Serial_ryoma_PDF.pdf)}} をご用意しています。「シリアル龍馬」により、パソコンから制御や管理が可能です。
Q
【SEC-N100シリーズ】ガス種を変更したい。
A
【SEC-N100シリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCよりガス種を変更できます。SEC-N100MGR(W)はシール材質にラバーシールを使用しているので、非腐食性ガスのみ変更可能です。腐食性ガス種への変更は出来ません。
Q
【SEC-400シリーズ】保守サービスはいつまで受けれますか？
A
【SEC-400シリーズ】型式によって異なります。{{[生産終了のおしらせ](https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/resources/discontinued-products/)}}のページで該当型式の「保守サービス期間」を参考にしてください。※部品在庫状況により早めに終了する可能性がございます。
Q
【小型マスフローコントローラMF-C】適応流体は？
A
【小型マスフローコントローラMF-C】適応流体は以下になります。＜樹脂ボディ・ステンレスボディ＞AI(空気・窒素)＜ステンレスボディ＞AR(アルゴン)O2(酸素)LN(都市ガス)C1(メタン)C2(プロパン)C3(炭酸ガス・二酸化炭素)＜ステンレスボディ＞H2(水素)HE(ヘリウム)
Q
【SEC-E40/E50】MK3製品とMK3無し製品とでは、何が異なっていますか？
A
【SEC-E40/E50】MK3モデルは、対象ガスを限定することにより価格をお求めやすく設定しております。SEC-E40/50の性能は同一です。対象ガス：N2、O2、Air、H2、Ar、He上記以外のガスはMK３対応出来ませんが、非腐食性ガスであればSEC-E40で対応しています。
Q
マスフローコントローラの内部のバルブをフルクローズにしてガスを止めることは可能ですか？
A
マスフローコントローラ内蔵の制御バルブでガスをクローズすることは可能ですが、シャットオフ性はありません。完全にガスを止めたい場合は、前段もしくは後段、又は、前後段にストップバルブを設置してガスを止めてください。
Q
【SEC-N100シリーズ】流量単位(SLM, SCCM, LM, CCM)を変更したい。
A
【SEC-N100シリーズ】マルチレンジ・マルチガス機能がついているモデルは、コンフィグソフトと専用治具を使用しPCより変更できます。対象機種：SEC-N100MGM(W)/SEC-N100MGR(W)
Q
【SEC-Z500Xシリーズ】発注した仕様とZ500Xの銘板のガスとフルスケール流量が違うのはなぜですか？
A
【SEC-Z500Xシリーズ】Z500Xの背面の大きな銘板と側面の銘板は、MR.MG.番号で製作可能な最大のフルスケール流量(N2ガス)を表記しています。Z500Xの上面の小銘板は、お客様のご発注時のガスとフルスケール流量を記載しています。仕様確認は、上面の小銘板をご確認ください。
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熱式マスフローコントローラ/マスフローメータ
HORIBA Precision Instruments社製品(S48/S600/MT-51/MT-51D)
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制御ユニット/モニタユニット(PE-D20/PE-D10)
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